光伏电池的生产过程中，扩散炉的相关部件使用频繁，导致设备老化，经常出现故障。扩散后硅片扩散炉异常波动，导致生产线扩散环节出现很多异常问题，导致PN结质量下降。
为探讨扩散炉异常的原因，从温度、排气、扩散程序和流量变化四个方面进行了调查分析。确定扩散炉异常是流量计小氮气流量异常造成的，通过更换流量计，生产过程恢复正常。
1.温度调查
分析扩散炉是否因设定温度与实际温度相差较大而异常。扩散炉各温区温度设定为850，实际温度由轮廓热电偶检测。实际温度与设定温度的差值在允许范围内，温差没有异常。
2.排气筛选
分析扩散炉异常是不是排气异常引起的。用风速计测试DF4炉各炉管的排气。通过测试结果可以看出，各炉管的排气都在允许的误差范围内，差别不大。
3.扩散程序
分析炉管性能是否不能满足扩散程序，导致扩散炉异常。
4.检查扩散氮气的流速
分析扩散炉异常是否是小氮气流量异常造成的。用软管分别连接DF4-1炉管和DF4-3炉管的氮气小流量计，将两根软管插入盛有水的量杯中，在两根炉管中设定相同的氮气小流量，观察鼓泡情况。
5.检查扩散氧气的流量
分析扩散炉异常是否是氧气流量异常引起的。将DF4-3炉管的氧气管道连接到DF4-1炉管，通过DF4-3控制DF4-1的氧气流量，运行HP-M156程序，比较前后的扩散炉。这个试片的平均扩散炉在改变前为65.5，改变后为64.52，与第二个试片相差不大。可以判断DF4-1的氧气流量有没有异常。
对氮气小管道进行了检查，检查结果正常，推测可能是小氮气流量计有问题。将DF4-1炉管的扩散温度和流速调整为与其他炉管相同。更换小型氮气流量计后，试件结果是不是正常的。
为了探讨炉管扩散炉异常的原因，可以从温度、排气、扩散程序和流量变化四个方面进行了调查分析。确定扩散炉异常是流量计小氮气流量异常造成的，通过更换流量计，生产过程恢复正常。对于一条24小时生产线来说，定期检查和维护设备系统的各个部分是非常重要的。当产品质量出现异常时，要在短的时间内进行有针对性的调查，提高解决问题的效率。
